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  • PLUTO-E100型科研型等離子體干法刻蝕(ICP/CCP)系統是一款低成本,適合于科研機構實驗室的桌面型科研設備,整套系統的目的是在4寸以及以下的樣品上進行干法刻蝕。該系統包括反應腔室,真空系統,RF射頻系統,反應氣路系統,電器控制,軟件程序等幾個子系統。

    訪問次數:2340
    產品價格:499999
    廠商性質:生產廠家
    更新日期:2026-04-16
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